建設地點

廣東廣州增城區(qū)

建設單位

******有限公司

項目概況

項目擬選址廣州市增城區(qū)新譽北路和創(chuàng)優(yōu)路交叉口東北側地塊，主要從事半導體設備的生產(chǎn)、研發(fā)，僅包括組裝、測試和包裝，整機測試工序均在真空、保壓狀態(tài)下進行，再使用氣槍噴射氦氣進行氣密性檢測，不涉及通入特氣進行反應測試，年產(chǎn)12臺Gen8.6代等離子增強化學氣相沉積(PECVD)設備、3臺蝕刻(Etch)設備，建設3個Gen4.5代等離子增強化學氣相沉積(PECVD)研發(fā)機臺、3個干法蝕刻(DryEtch)研發(fā)機臺、1個原子沉積(ALD)研發(fā)機臺。研發(fā)主要采用設計(含委外定制原料/零部件)、原料質檢、玻璃基片清洗、等離子增強化學氣相沉積(PECVD)工藝功能測試與腔體清洗、膜層性能測試、原子層沉積(TFEALD)工藝功能測試、干法刻蝕(DryEtch)工藝功能測試、設備性能改進升級等工序。項目總投資100000萬元，其中環(huán)保投資730萬元。

環(huán)評機構

******有限公司

主要環(huán)境影響及預防或減輕不良環(huán)境影響的對策和措施

（一）項目氯氣、氟化物、氮氧化物執(zhí)行《大氣污染物排放限值》（DB44/27-2001）第二時段二級標準；磷烷和硅烷參照執(zhí)行《環(huán)境影響評價技術導則制藥建設項目》（HJ611-2011）附錄C中多介質環(huán)境目標值估算DMEG值和《荷蘭排放導則》（NER）中排放限值的較嚴值；非甲烷總烴、TVOC執(zhí)行《固定污染源揮發(fā)性有機物綜合排放標準》（DB44/2367-2022）表1揮發(fā)性有機物排放限值；氨執(zhí)行《惡臭污染物排放標準》（GB14554-93）表2中35米高排氣筒排放標準值。食堂油煙執(zhí)行《飲食業(yè)油煙排放標準（試行）》（GB18483-2001）表2最高允許排放濃度。廠區(qū)內無組織排放監(jiān)控點NMHIC濃度執(zhí)行《固定污染源揮發(fā)性有機物綜合排放標準》（DB44/2367-2022）中表3廠區(qū)內VOCs無組織排放限值。廠界無組織排放的硫酸霧、氮氧化物、氟化物、氯氣執(zhí)行《大氣污染物排放限值》（DB44/27-2001）表2第二時段無組織排放監(jiān)控濃度限值；氨、硫化氫、臭氣濃度執(zhí)行《惡臭污染物排放標準》（GB14554-93）新、擴、改建設項目惡臭污染物廠界二級標準。
（二）項目生活污水執(zhí)行《水污染物排放限值》（DB44/26-2001）第二時段三級標準，生產(chǎn)廢水執(zhí)行《電子工業(yè)水污染物排放標準》（GB39731-2020）；經(jīng)市政污水管道排至增城區(qū)開發(fā)區(qū)下沉式再生水廠處理達標后排放。
（三）項目噪聲排放執(zhí)行《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標準》（GB12348-2008）3類標準。
（四）各類固體廢物實行分類收集、處置。固體廢物的貯存、堆放應按《危險廢物貯存污染控制標準》（GB18597-2023）、《一般工業(yè)固體廢物貯存和填埋污染控制標準》(GB 18599-2020)要求進行管理。危險廢物應委托有資質的單位處置。

公眾參與情況